半導(dǎo)體晶片超聲波清洗機(jī)是一種半導(dǎo)體晶片清洗設(shè)備，廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝，可有效去除晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。

半導(dǎo)體晶片超聲波清洗機(jī)研發(fā)背景

用超聲波清洗的目的主要是清除半導(dǎo)體晶片/晶圓表面的沾污，如微粒，有機(jī)物，無機(jī)金屬離子、氧化層等雜質(zhì)。半導(dǎo)體晶片/晶圓表面吸附雜質(zhì)的主要原因是，晶片/晶圓表面原子垂直向上的化學(xué)鍵被破壞成為懸空鍵，在表面形成自由力場，極易吸附各種雜質(zhì)。這些雜質(zhì)和硅之間迅速形成化學(xué)吸附，難以去除。

超聲波清洗機(jī)清洗半導(dǎo)體晶片具有以下特點(diǎn)：

1、械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。

2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。

3、全封閉外殼，確保良好清洗環(huán)境。

4、具備各項(xiàng)清洗功能，保證清洗均勻。